Reaktiivse magnetroni pihustamisega?

2024 Autor: Fiona Howard | [email protected]. Viimati modifitseeritud: 2024-01-10 06:36

Reaktiivne magnetron-pihustamine on küps tehnika õhukese ühendikihi katmiseks laiale substraatide spektrile pealmise kihina või mitmekihilise katte vahekihina. "Õhuke" ulatus ulatub mõnest nanomeetrist kuni mitme mikromeetrini.

Miks magnetron pritsib?

Magnetroni pihustamine on kokkupõrkeprotsess langevate osakeste ja sihtmärkide vahel … Magnetroni pihustamine suurendab plasma tihedust, tekitades sihtkatoodi pinnale magnetvälja ja kasutades ära laetud osakeste magnetväli, et suurendada pihustuskiirust.

Mida mõeldakse reaktiivse pihustamise all?

Reaktiivne pihustamine on protsess, mis võimaldab ühendite sadestamist, viies plasmasse reaktiivse gaasi (tavaliselt hapniku või lämmastiku), mis moodustub tavaliselt inertsest gaasist, näiteks argoon (kõige tavalisem), ksenoon või krüptoon.

Kuidas magnetroni pihustus töötab?

Magnetronpihustamine on sadestamise tehnoloogia, mis hõlmab gaasilist plasmat, mis genereeritakse ja piirdub ruumiga, mis sisaldab sadestatavat materjali – sihtmärki. … Need kokkupõrked põhjustavad elektrostaatilist tõrjumist, mis "lööb ära" elektronid pihustatavatelt gaasiaatomitelt, põhjustades ionisatsiooni.

Miks raadiosagedus pritsib?

RF ehk raadiosageduslik pommitamine on tehnika, mis on seotud vaakumkeskkonnas voolu elektrilise potentsiaali vaheldumisega raadiosagedustel, et vältida laengu kogunemist teatud tüüpi pihustavatele sihtmaterjalidele, mis võib aja jooksul põhjustada kaare tekkimist plasmas, mis paiskab välja tilgad …